【产品概述】
easyLIGHT系列光谱仪提供了在真空紫外光谱区域的像差校正波长覆盖。基于垂直入射，提供了光谱仪和单色仪功能。高效的定位系统可以使光栅绕其顶点旋转，从而使出射狭缝处的波长选择精度小于0.1nm。入射和出射缝隙宽度可以通过测微螺钉或电动电机（可选）设置在0.01 至4mm 的范围内。
【关键词】 多功能性 效率和准确性高 觉有特殊解决方案 可根据需求定制
【产品特点】
easyLIGHT | maxLIGHT | maxLIGHT plus | |
平场掠入射光谱仪 | ● | ● | |
正入射光谱仪和单色仪 | ● | ||
灵活的检测器选择：X射线CCD或 MCP /光纤 | ● | ● | ● |
工作压力<10-6mbar | ● | ● | ● |
可根据客户要求定制 | ● | ● | ● |
专利无缝设计 | ● | ● | |
闪耀光栅进一步提高效率 | ● | ||
电动闭环三维光栅定位 | ● | ||
手动一维光栅定位 | ● | ||
电动光栅旋转 | ● | ||
滤光片插入装置 | O | ● | |
真空阀门 | O | ● | |
入射和出射狭缝连续可变 | ● | O | O |
【产品规格参数】
XUV 光栅 | VUV 光栅 | |
波长，nm | 可定制 | 100-300 |
操作模式 | 入射狭缝 | |
光源距离，m | 可调 | |
色散，nm/mm | ≈2.5 | |
分辨率，nm | ＜0.1 | |
波长精度，Nm | ＜0.05 | |
偏差角，° | 64 | |
焦距，mm | 200 | |
f/# | 4.2 | |
*其他配置（光谱范围，狭缝操作，高分辨率等）可根据要求提供
【操作模式】
【光栅效率】
多功能性
n 光谱仪和单色仪合二为一
n 狭缝可手动或电动连续调节（可选）
n 紧凑且具有成本效益
效率和准确性
n 采用闭环微精密光栅驱动器进行高精度波长选择
n 光栅定位可由软件控制
n 高效像差校正光栅
n 双杂散光滤镜
特殊解决方案
n 非磁性仪器
n 超高真空配置
根据需求定制
n 每台光谱仪都是经过定制的，以完全匹配所需的应用，例如：
n 提供与试验箱接口
n 集成客户提供的探测器
n 根据用户定义提供滤光片安装座
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